Sources
Delphi Russian Knowledge Base
DRKB - это самая большая и удобная в использовании база знаний по Дельфи в рунете, составленная Виталием Невзоровым

How to implement a microsecond resolution Delay?

01.01.2007
// Wait 0.2ms
 
procedure
PerformanceDelay;
var
  hrRes
, hrT1, hrT2, dif: Int64;
begin
 
if QueryPerformanceFrequency(hrRes) then
 
begin
   
QueryPerformanceCounter(hrT1);
    repeat
     
QueryPerformanceCounter(hrT2);
      dif
:= (hrT2 - hrT1) * 10000000 div hrRes;
   
until dif > 2;
 
end;
end;

Взято с сайта https://www.swissdelphicenter.ch/en/tipsindex.php