Sources
Delphi Russian Knowledge Base
DRKB - это самая большая и удобная в использовании база знаний по Дельфи в рунете, составленная Виталием Невзоровым

How to implement a microsecond resolution Delay?

01.01.2007
// Wait 0.2ms
 
procedure PerformanceDelay;
var
  hrRes, hrT1, hrT2, dif: Int64;
begin
  if QueryPerformanceFrequency(hrRes) then
  begin
    QueryPerformanceCounter(hrT1);
    repeat
      QueryPerformanceCounter(hrT2);
      dif := (hrT2 - hrT1) * 10000000 div hrRes;
    until dif > 2;
  end;
end;

Взято с сайта https://www.swissdelphicenter.ch/en/tipsindex.php